삼성전자, 공공나노팹에 장비·노하우 나눈다

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박막 측정장비 무상이전…한국나노기술원 운영 효율화 컨설팅도 진행

(서울=연합뉴스) 조승한 기자 = 삼성전자[005930]가 국가 공공나노팹 기능 고도화를 위해 중고 장비를 이전한다.

과학기술정보통신부는 11일 경기 수원 한국나노기술원에서 '삼성전자-한국나노기술원 공공나노팹 운영 효율화 컨설팅 결과보고회 및 모아팹 중고 장비 이전식'을 열었다고 밝혔다.

이번 행사는 지난해 과기정통부와 반도체 주요 3사 간 맺은 업무협약 후속으로 추진됐다.

삼성전자는 8인치 반도체 웨이퍼의 단층·다층 박막 두께와 광학상수를 정밀 측정하는 자동 패턴 박막 측정 장비를 이전했다.

나노기술원은 이전받은 장비를 기업과 대학·연구소의 연구개발(R&D) 및 기술지원에 활용하게 된다.

또 삼성전자는 반도체 소재·부품·장비(소부장) 협력사를 대상으로 추진해 온 '소부장 눈높이 컨설팅'을 공공나노팹에도 맞춰 진행했다.

이를 통해 나노기술원 팹 운영 관리 방법을 장비별 표준작업절차서(SOP), 점검표, 교육·운영 기준에 반영하고 '현장점검 매뉴얼'도 공공나노팹 맞춤형으로 적용했다.

지현기 삼성전자 DS부문 상생협력센터장(부사장)은 "삼성전자가 축적한 제조혁신 노하우가 공공나노팹을 거쳐 연구자와 소부장 기업에 다시 이어지는 상생의 선순환에 힘을 보태고자 한다"며 "특히 이번에 개발한 컨설팅 모델이 다른 모아팹 참여기관으로 확산하는 과정에도 꾸준히 함께하여 국내 반도체 생태계 경쟁력 강화에 지속해 기여하겠다"고 밝혔다.

구혁채 과기정통부 제1차관은 "글로벌 반도체 경쟁이 국가 역량을 총결집하는 경쟁으로 바뀌면서, 민간의 장비와 노하우가 공공 연구인프라로 이어지는 민관협력의 중요성이 더욱 커지고 있다"며 "민간기업 컨설팅과 유휴 장비 이전과 같은 협력 모델을 모아팹 참여기관 전반으로 넓혀 공공나노팹의 전반적인 운영 수준을 끌어올리고, 반도체 기술혁신과 전문인력 양성을 적극 뒷받침하겠다"고 밝혔다.

shjo@yna.co.kr

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