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[한국기술교육대 제공. 재판매 및 DB 금지]
(천안=연합뉴스) 유의주 기자 = 한국기술교육대는 19일 나노·원자 수준의 초정밀 미세구조 분석이 가능한 '300kV 수차 보정 투과전자현미경'(Double Cs-TEM)을 도입했다고 밝혔다.
네덜란드 써모피셔사이언티픽사의 최고 등급 전자현미경 장비로, 가속전압 300kV 전자총에서 방출된 전자가 시료의 원자 구조와 상호작용해 형성하는 회절 및 투과 이미지를 통해 나노미터를 넘어 원자 수준까지 관찰할 수 있다.
반도체·디스플레이 소재와 박막뿐만 아니라 금속, 섬유, 지질, 바이오, 환경, 에너지, 화학 등 미래 신소재 개발에 필수적인 내부 미세구조 분석을 지원한다.
융합 소재 공정 중 발생하는 미세 이물의 성분을 식별하고 제품 변형의 근본 원인을 파악하는 데 핵심적인 역할을 수행할 예정이다.
이번 장비 구축은 2024년 8월 선정된 산업통상자원부 산업혁신 기반 구축 고도화 사업의 하나로 추진됐으며, 전체 사업비 94억원(국비 70억원, 민간 대응금 24억원) 중 45억 원(국비 39억원 등)이 투입됐다.
유길상 총장은 "첨단 300kV 수차 보정 투과전자현미경이 대학 교육과 연구 역량을 한층 끌어올리고, 산업현장에 더 기여할 수 있는 새로운 도약의 발판이 되길 기대한다"고 말했다.
yej@yna.co.kr
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