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고순도 가스 15종 순도분석기술 확립…인증표준물질 6종 개발
[한국표준과학연구원 제공. 재판매 및 DB 금지]
(대전=연합뉴스) 김준호 기자 = 한국표준과학연구원(KRISS)은 반도체 주요 공정에 쓰이는 고순도 가스 15종의 순도분석기술과 시험절차를 확립하고, 측정 정확성을 확인하는 인증표준물질 6종을 개발했다고 6일 밝혔다.
이로써 공급업체가 제시한 자체 성적서에만 의존하던 방식에서 벗어나 반도체 가스의 품질을 국내에서 객관적으로 평가할 수 있는 기반이 마련됐다고 KRISS 측은 설명했다.
KRISS는 2020년 불화수소 품질평가 서비스를 시작한 이래 단계적으로 대상을 늘려 식각·세정·증착용 고순도 가스 15종에 대한 순도분석 기반을 구축했다.
가스별 표준 시험절차를 마련해 15종 전 품목에 대한 시험분석 서비스 체계를 완비했다.
정확한 기준값이 부여된 주요 불순물 분석용 인증표준물질 6종을 개발해 현장 분석 장비의 측정 정확성을 검증하고, 측정 결과의 신뢰성과 비교 가능성을 한층 높였다.
KRISS는 확립된 분석 시스템을 바탕으로 현재까지 총 34건의 시험서비스를 제공했다.
특히 국산화 및 공급 다변화가 활발히 진행 중인 불화수소 품목을 중심으로 시험 수요가 이어지고 있다. 시험 결과는 가스 제조기업의 자체 분석법 검증과 제조·정제공정 개선, 수입·국산 제품 간 품질 비교 등에 다양하게 활용되고 있다.
KRISS 가스측정그룹 오상협 책임연구원은 "반도체 소재 국산화가 실제 산업 현장으로 이어지려면 제품의 품질을 신뢰할 수 있는 객관적 데이터로 입증하는 과정이 필수적"이라며 "KRISS의 가스 측정표준과 분석 역량을 바탕으로 국내 기업의 품질관리와 공급망 대응을 적극 뒷받침하겠다"고 말했다.
kjunho@yna.co.kr
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