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정부, 반도체 극자외선 장비규제 완화…도입기간 34→9일

입력 2026-06-02 13:42:27

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'고압가스 안전관리법 시행령' 일부개정안 국무회의 의결




경기도 용인시 처인구 원삼면 용인반도체클러스터 일반산업단지 공사현장의 1월 모습

[연합뉴스 자료사진]



(서울=연합뉴스) 신창용 기자 = 정부가 반도체 핵심 공정에 사용되는 극자외선(EUV) 장비의 국내 도입 절차를 대폭 간소화한다.


이에 따라 삼성전자, SK하이닉스 등 국내 반도체 기업들의 첨단 생산라인 구축에 속도가 붙을 전망이다.


산업통상부는 2일 국무회의에서 글로벌 안전기준을 충족한 반도체 제조장비에 대해 고압가스 일반제조시설이 아닌 '특정설비' 기준을 적용하도록 하는 '고압가스 안전관리법 시행령' 일부개정안이 의결됐다고 밝혔다.


그동안 EUV 장비는 내부에 고압가스 배관과 장치가 포함돼 있어 현행법상 '고압가스 제조설비'로 분류됐다.


이 때문에 장비를 설치할 때마다 복잡한 기술 검토와 검사를 받아야 해 장비 도입이 지연되고 기업의 부담이 크다는 지적이 제기돼 왔다.


산업부는 반도체 업계와 여러 차례 협의를 거쳐 글로벌 안전기준을 면밀히 검토한 끝에 EUV 장비를 '특정설비'로 전환하기로 했다. 대신 3년 주기로 공장심사와 종합공정검사를 실시해 기존과 동등한 수준의 안전성을 확보한다는 방침이다.


이번 제도 개선으로 EUV 장비의 도입 기간은 기존 34일에서 9일로 최대 25일 단축된다. 또한 해외 공인검사기관에서 받던 내압·기밀 검사가 생략되면서 장비당 약 5억원의 비용도 절감할 수 있게 됐다.


정부는 이번 시행령 개정과 함께 시행규칙 개정도 동시에 추진해 산업 전반의 규제를 합리화할 계획이다.


물과 세탁세제 대신 이산화탄소를 사용하는 친환경 세탁기가 국내 최초로 상용화될 수 있도록 맞춤형 검사 기준을 신설한다. 해당 설비는 규제샌드박스를 통해 안전성이 검증됐으며 폐수 처리가 필요 없는 것이 특징이다.


또한 상업용 액화 이산화탄소 세정설비, 고압가스 저장시설 등 '위험성이 낮은 고압가스시설'의 안전관리자 자격요건을 완화해 기업의 인력 운용 부담을 줄일 방침이다.


김정관 산업부 장관은 "이번 법령 개정은 안전 확보와 첨단산업 경쟁력 강화를 동시에 달성하기 위한 대표적인 규제혁신 사례"라며 "앞으로도 글로벌 기준에 부합하는 합리적인 안전관리 체계를 통해 첨단산업 투자를 적극 지원하겠다"고 말했다.


이번 개정안은 다음 주 중 공포된 후 즉시 시행될 예정이다.


changyong@yna.co.kr



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