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SK실트론 구미사업장에 설치된 초순수 생산 설비. [기후부 제공. 재판매 및 DB 금지]
(서울=연합뉴스) 이재영 기자 = 반도체 등 첨단산업에 꼭 필요한 '초순수' 생산 전(全) 공정에 걸쳐 기자재 90%를 2030년까지 국산화한다.
기후에너지환경부는 '차세대 초순수 생산·공급 및 자립형 생산공정 기술 개발 사업' 2단계 착수 회의를 27일 서울 중구 프레지던트호텔에서 연다고 26일 밝혔다.
정부는 2019년 일본의 반도체 소재 수출 규제에 대응, 2021년부터 '고순도 공업용수 생산 국산화 기술 개발 사업' 1단계를 추진해 '자외선 산화 장치'(UV Oxidation), 탈기막(MDG), 이온교환수지 등 초순수 생산 공정 핵심 기자재를 국산화했다.
2단계에서는 국산화 대상을 핵심 기자재에서 공급 배관 등 소재까지 확대한다.
또 배출되는 온실가스와 운영비를 줄이기 위한 '저(低)에너지형 초순수 실증 설비 설계 기술'도 개발한다.
기후위기로 빈번해질 '극한가뭄' 등으로 산업용수가 제대로 확보되지 않는 상황에 대비해 하수재이용수로 초순수를 만들기 위한 극미량 오염물질 제거 기술도 개발할 예정이다.
물에 'ppt'(1조분의 1) 수준으로 적게 존재하는 초극미량 물질 분석 기술을 개발, 초순수 품질을 정밀하게 평가할 수 있는 기술도 확보한다.
기후부는 "초순수 생산 전 과정에 걸쳐 기술 자립을 달성, 지속가능한 공급 체계를 구축하겠다"고 밝혔다.
jylee24@yna.co.kr
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