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차세대 반도체 금속 배선 소재…"통합 설루션으로 대량생산 지원"
[한국머크 제공. 재판매 및 DB 금지]
(서울=연합뉴스) 김민지 기자 = 독일 과학기술 기업 머크의 한국법인인 한국머크는 22일 충청북도 음성 사업장에서 신규 이산화이염화몰리브덴(MoO₂Cl₂) 생산설비 개소식을 개최한다고 밝혔다.
몰리브덴은 반도체 칩의 트랜지스터와 트랜지스터를 잇는 미세한 회로인 금속 배선에 쓰이는 차세대 소재다. 기존에는 텅스텐이나 구리가 쓰였으나, 인공지능(AI) 시대의 도래로 반도체 공정에 요구되는 기술이 점차 미세화·집적화되면서 신소재의 필요성이 커졌다.
빙 한 머크 일렉트로닉스 박막 소재 비즈니스 수석부사장은 지난 21일 서울 강남구 소노펠리체 컨벤션에서 열린 기자간담회에서 "몰리브덴은 텅스텐·구리보다 전도성이 훨씬 높고 전기 저항은 낮아 에너지 효율과 신뢰도가 높다"며 "현재는 3D 낸드 제품에 쓰이고 있지만 향후에는 D램과 로직 소자에도 적용될 수 있을 것"이라고 말했다.
머크는 이번 음성 신규 공장에서 생산되는 몰리브덴 전구체를 전부 한국 고객사에 제공해 '현지 생산·현지 공급' 체계를 구축한다.
또 소재 생산과 수직적인 설루션 시스템 계측·공급 시스템 결합한 통합 설루션을 통해 공정 가동률을 높이고 소재 사용 효율을 99% 이상으로 끌어올려 대량생산을 지원한다.
[촬영 김민지]
벤자민 하인 머크 일렉트로닉스 최고경영자(CEO)는 "한국은 전 세계에서 메모리가 가장 많이 만들어지는 국가 중 하나이며, 반도체 소재 측면에서는 세계 상위 3개 시장 중 하나"라며 한국 시장의 중요성을 강조했다.
이어 "한국 현지에서 화학 소재와 공급 시스템을 통합한 시스템을 제공해야 한국 고객에 신속하고 원활한 지원과 제품 공급이 가능하다"며 "AI가 반도체 산업의 혁신성을 가속하는 흐름 속에서 고객사들이 제조 생산 역량을 늘리고 AI 변화에 대응할 수 있도록 기여할 것"이라고 말했다.
jakmj@yna.co.kr
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